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    產品[

    微量氣體分析儀GA-360E

    ]資料
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    產品名稱: 微量氣體分析儀GA-360E
    產品型號: 微量氣體分析儀GA-360E
    產品廠商: 其它品牌
    產品文檔: 無相關文檔


    簡單介紹

    微量氣體分析儀GA-360E 概要 它是可以對用于半導體工藝的混合氣體 (N2、O2、He、Ar、H2、Air) 中的微量不純物進行超高靈敏度、高精度 (*小檢測感度10ppb) 連續檢測的裝置。由于采用了交替流動調制方式,可以和零氣體不斷比較的同時進行檢測,所以沒有零點漂移,能夠獲得長期穩定的檢測值。由于它通過19英寸RACK方式進行了集中,所以系統升級也很容易

    微量氣體分析儀GA-360E的詳細介紹

    微量氣體分析儀GA-360E
    概要
    它是可以對用于半導體工藝的混合氣體 (N2、O2、He、Ar、H2、Air) 中的微量不純物進行超高靈敏度、高精度 (*小檢測感度10ppb) 連續檢測的裝置。由于采用了交替流動調制方式,可以和零氣體不斷比較的同時進行檢測,所以沒有零點漂移,能夠獲得長期穩定的檢測值。由于它通過19英寸RACK方式進行了集中,所以系統升級也很容易.*適于半導體氣體制造設備的質量管理 。

    特征

    1分析儀*大可以搭載CO/CO2/CH4中的2種成分,2種成分可同時以數字形式顯示濃度。

    采用了交替流動調制方式,沒有零點漂移,可以獲得長期穩定的連續檢測值。

    不需要進行光學調整,維護性得到了提高。

    由于搭載有流量(壓力)異常、斷路器(電磁閥)、失火報警(GA-360E)、電源斷開的自我診斷功能,所以能夠迅速地在發生異常時采取措施。


    制造: HORIBA

     
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