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    Dycor DyMaxion 封閉式離子源分析儀

    ]資料
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    產品名稱: Dycor DyMaxion 封閉式離子源分析儀
    產品型號: Dycor DyMaxion 封閉式離子源分析儀
    產品廠商: 其它品牌
    產品文檔: 無相關文檔


    簡單介紹

    Dycor DyMaxion 封閉式離子源分析儀 封閉式離子源儀器被設計為用于CVD過程(反應性氣體存在其他的的過程)和接近或高于大氣壓力的氣體分析。這種離子源的設計的主要益處在于當反應性氣體在相對高的壓力下引入離子室時,它可以減少在離子源區域發生的分子離子反應。

    Dycor DyMaxion 封閉式離子源分析儀 的詳細介紹

    Dycor DyMaxion 封閉式離子源分析儀
    封閉式離子源儀器被設計為用于CVD過程(反應性氣體存在其他的的過程)和接近或高于大氣壓力的氣體分析。這種離子源的設計的主要益處在于當反應性氣體在相對高的壓力下引入離子室時,它可以減少在離子源區域發生的分子離子反應。
    DymaxionCVD
    概述

    這是通過在樣品氣體進入離子室之前首先減少它的壓力而實現的。正如流導限制型離子源(詳見上文介紹),樣品氣體被限制在一個相對較小的離子室中,燈絲在離子室的外面。差別在于封閉離子源的氣體在進入到離子室之前壓力首先從CVD(或其他高壓方面的應用)的高壓被降低到大約10-5 Torr 。因為在這一較低壓力下氣體密度就會較小,這樣一來當取反應性氣體樣品時就能大大減少分子離子反應了。這樣就保持了樣品氣體的*原始的特性和排除了引入新的不屬于樣品氣體的氣體種類的可能性。
    封閉離子源RGA 具備了增強的靈敏度,降低的體系壓力背景噪聲,PPB水平的檢測能力。

    封閉離子源的另外的特點包括:
    傳感器室中背景氣體對分析信號的*小程度的污染
    離子體積外的燈絲排除本底信號
    抽取式的離子體積方便清洗
    兩根涂釷的銥燈絲
    可簡便替換的燈絲
    從傳感器真空室的進口到離子體積連接簡單

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